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http://hdl.handle.net/10928/149
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| タイトル: | 多結晶シリコン太陽電池における三フッ化塩素ガスおよび酸溶液によるテクスチャ化の最適化 |
| その他のタイトル: | Optimization of Texture Process of Multi-crystalline Silicon Solar Cells Using a Chlorine trifluoride Gas and an Acid Solution |
| 著者: | 齋藤, 洋司
久保田, 祥
三田, 隆裕
SAITO, Yoji
KUBOTA, Akira
SANDA, Takahiro |
| キーワード: | multi-crystalline silicon
chlorine trifluoride
textur
esolar cell |
| 発行日: | 2011年12月1日 |
| 出版者: | 成蹊大学理工学部 |
| 抄録: | We have been trying to improve the characteristics of crystalline silicon-related solar cells by random texture process using dry etchant. However, the improvement has not been enough by the texture process only with the dry etching. In this study, we tried to improve cell performance by the two step texturing process with combination of dry and wet etching |
| URI: | http://hdl.handle.net/10928/149 |
| 出現コレクション: | 第48巻第2号
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